°íÁ¤¹Ð¡¼Mass Flow Controller¡½¿¡ ÀÇÇØ °¡½ºÀÇ °ø±Þ¡¤¹è±â À¯·®À» ÀÚµ¿ Á¦¾î ÇÏ°í, ¹é ¼¼Á¤À¸·ÎºÎÅÍ °¡½ºÆ÷Áý±îÁöÀÇ ÃøÁ¤ ¼ø¼¸¦ °£´ÜÇÑ Á¶ÀÛ¿¡ ÀÇÇØ È¿À²ÀûÀ¸·Î ½ÇÇàÇÕ´Ï´Ù.
¿ÀÅä»ùÇøµÀåÄ¡¿¡ ŸÀÌ¸Ó ±â´ÉÀ» ä¿ëÇÏ¸é ½ÃÇèÀÇ ÀÚµ¿Èµµ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. Ç¥Áؼ³°è¿¡¼´Â 4ä³Î, ¿°°¡ÆÇ¿¡¼´Â 2ä³Î±îÁö ¹éÀÇ µ¿½Ã ½ÃÇèÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |